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品牌 | 其他品牌 | 价格区间 | 1万-2万 |
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产地类别 | 进口 | 应用领域 | 环保,化工,电子,制药,电气 |
日本Canon anelva佳能 真空表 真空计M-342DG
日本Canon anelva佳能 真空表 真空计M-342DG
特征:
高精度、稳定的压力测量
・出色的零点稳定性
・温度依赖性低,无需温度调节机构即可实现出色的稳定性
・出色的抗振性和噪音性
紧凑、低功耗
、重量 200 g、尺寸 W46 mm x H49 mm x L106 mm、轻量且紧凑 (*1)
、功耗 0.5 W
*1 质量和尺寸适用于联合 NW16 规格。
广泛兼容真空压力的高精度、长期稳定测量
半导体、显示器、太阳能电池等各种真空设备、
溅射、PECVD等真空成膜工艺压力控制、监视
/负载锁定室、晶圆冷却等气体导入工艺、系统压力管理。
用于医疗、生物、食品等行业的各种涂层、等离子体处理、真空密封、真空炉、分析设备、灭菌、真空泵评估、分子蒸馏等,以及各种研发应用。
型号名称 | M-342DG | ||||
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-1D | -1N | -11 | -12 | -13 | |
满量程压力 (Pa) | 13.33 | 133.3 | 1.333k | 13.33k | 133.3k |
测量精度(读数的%) | 0.20(23℃时) | ||||
零点温度系数(% of FS/℃) | 0.01 | 0.005 | 0.002 | ||
量程温度系数(%读数/℃) | 0.01 | 0.005 | |||
分辨率(满量程的%) | 0.01 | 0.005 | |||
测量下限压力(满量程的%) | 0.01 | ||||
实际测量下限压力(满量程的%) | 0.05 | ||||
实际控制下限压力(满量程的%) | 0.5 | ||||
响应速度(毫秒) | 100 | 30 | |||
压力上限 | 200 kPa(但是,对于NW16和NW25,内部压力不得为正) *13.33 Pa规格为130 kPa | ||||
电源电压(VDC) | +13.5~26.4 | ||||
功耗(瓦) | 0.5 | ||||
模拟输出(直流) | 0-10 | ||||
工作温度/储存温度(℃) | 0~50/-20~70(不工作时) | ||||
最大电缆长度(米) | 100(专用电缆) | ||||
调零方式 | 按键开关、远程输入 | ||||
输入/输出连接器 | D-sub9 针(公头) | ||||
气体接触材料 | SUS304、SUS316、Si、玻璃、氟橡胶 | ||||
法兰形状和质量 | NW16 (200 g)、NW25 (210 g)、8-VCR 母头 (250 g)、φ70ICF (460 g) | ||||
一致 | CE 标志、RoHS、IP40 | ||||
证券交易管制条例 | 不适用 | ||||
兼容显示器 | M-601GC(1通道连接型)、M-603GC(3通道连接型) |
13717032088
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