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日本Canon anelva佳能 电容表真空计

描述:日本Canon anelva佳能 电容表真空计M-342DG
电容式压力计“M-342DG"在压力传感器部分采用了小型硅MEMS芯片,最大限度地减少了温度、振动、大气压力波动等外部环境的影响,实现了高精度、稳定的隔膜真空压力测量。达到调零最小频率的仪表。

  • 产品型号:M-342DG
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-08-24
  • 访问量:107
产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION
品牌其他品牌价格区间1万-2万
产地类别进口应用领域环保,化工,电子,制药,电气

日本Canon anelva佳能 电容表真空计M-342DG

日本Canon anelva佳能 电容表真空计M-342DG



特征:


  1. 高精度、稳定的压力测量
    ・出色的零点稳定性
    ・温度依赖性低,无需温度调节机构即可实现出色的稳定性
    ・出色的抗振性和噪音性

  2. 紧凑、低功耗
    、重量 200 g、尺寸 W46 mm x H49 mm x L106 mm、轻量且紧凑 (*1)
    、功耗 0.5 W

    *1 质量和尺寸适用于联合 NW16 规格。

广泛兼容真空压力的高精度、长期稳定测量

  • 半导体、显示器、太阳能电池等各种真空设备、
    溅射、PECVD等真空成膜工艺压力控制、监视
    /负载锁定室、晶圆冷却等气体导入工艺、系统压力管理。


  • 用于医疗、生物、食品等行业的各种涂层、等离子体处理、真空密封、真空炉、分析设备、灭菌、真空泵评估、分子蒸馏等,以及各种研发应用。

型号名称M-342DG
-1D-1N-11-12-13
满量程压力 (Pa)13.33133.31.333k13.33k133.3k
测量精度(读数的%)0.20(23℃时)
零点温度系数(% of FS/℃)0.010.0050.002
量程温度系数(%读数/℃)0.010.005
分辨率(满量程的%)0.010.005
测量下限压力(满量程的%)0.01
实际测量下限压力(满量程的%)0.05
实际控制下限压力(满量程的%)0.5
响应速度(毫秒)10030
压力上限200 kPa(但是,对于NW16和NW25,内部压力不得为正)
*13.33 Pa规格为130 kPa
电源电压(VDC)+13.5~26.4
功耗(瓦)0.5
模拟输出(直流)0-10
工作温度/储存温度(℃)0~50/-20~70(不工作时)
最大电缆长度(米)100(专用电缆)
调零方式按键开关、远程输入
输入/输出连接器D-sub9 针(公头)
气体接触材料SUS304、SUS316、Si、玻璃、氟橡胶
法兰形状和质量NW16 (200 g)、NW25 (210 g)、8-VCR 母头 (250 g)、φ70ICF (460 g)
一致CE 标志、RoHS、IP40
证券交易管制条例不适用
兼容显示器M-601GC(1通道连接型)、M-603GC(3通道连接型)
    日本Canon anelva佳能 电容表真空计
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