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Canon anelva佳能 皮拉尼真空计 M-351PG

描述:Canon anelva佳能 皮拉尼真空计 M-351PG
该型号使用Ni丝来提高耐腐蚀性,并与RIE和CVD等硬工艺设备兼容。

  • 产品型号:M-342DG
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-08-24
  • 访问量:92
产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION
品牌其他品牌价格区间1万-2万
产地类别进口应用领域环保,化工,电子,制药,电气

 Canon anelva佳能 皮拉尼真空计 M-351PG

 Canon anelva佳能 皮拉尼真空计 M-351PG



特征:



  1. 采用Ni丝提高耐腐蚀性等。

  2. 重现性好、价格低

  3. 大气压从5×10 -2 Pa

  • 半导体、电子器件制造设备、
    干式蚀刻设备、等离子体CVD设备、LD-CVD设备等

  • 食品药品制造设备
    真空冷冻干燥、真空蒸馏设备、灭菌设备等。

型号名称M-351PG-SP
(镍丝规格)(带设定点型)
测量压力范围5×10 -2 ~ 1×10 5 (Pa)
精度(帕)±50%:5×10 -2  ~ 1×10 -1
±15%:1×10 -1  ~ 1×10 4
±50%:1×10 4  ~ 1×10 5
再现性±2%:1×10 -1  ~ 1×10 4 Pa
输入电压直流+14~30V
功耗2W
模拟输出0-10V
表计识别电阻值13 KΩ(D-sub 引脚 5 和 9 之间)
设定点2 个接点输出(1 A 30 V,DC)
界面-
输入/输出连接器D-sub9针
最大电缆长度兼容200 m (0.34 mm 2 ) *1
工作温度范围5~60℃
储存温度范围-20 至 70°C(非工作)
烘烤温度<+150 ℃(O型圈规格,仅测头)
<+300 ℃(金属密封规格,仅测头)
允许过载压力1 MPa(仅限于接头形状NPT、仅限于惰性气体、绝对压力)
兼容的皮拉尼传感器型号名称MP-2
法兰形状NW16、NW25、1/8NPT
传感器材料(主要部分) 皮拉尼灯丝:镍
传感器管:不锈钢
引入端子绝缘:Kovar 玻璃 + Al 2 O 3涂层
一致 CE 标志、RoHS、IP40

*1) 连接 M-601/603GC 显示器时,最大规格电缆长度为 100m。

Canon anelva佳能 皮拉尼真空计 M-351PG



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