曝光设备原理

我们将解释曝光设备的测量原理。曝光设备由光源、偏光镜、光掩模、聚光镜、工作台、传送硅片的机械手等组成。

镜头和光掩模的设计精度高，平台的运行精度也很高。操作过程中，曝光目标精确固定在载物台上。在操作中，每次曝光时载物台都会移动，在曝光的物体上创建大量图案。

从光源发出短波长的强光，偏光透镜调整光的方向，然后照射到光掩模上，光掩模是配置电路图案的原型。穿过光掩模的光被聚光透镜聚焦，并在曝光的目标上描绘出非常小的电路图案。

一旦整个曝光目标被曝光，它就会被机器人或其他设备运输。根据产品的不同，曝光目标会渗透到液体中，有些产品的设计旨在实现更准确的曝光。