力式真空计:基于力平衡原理测量真空度。
麦式真空计:基于压缩作用原理,将被测真空系统中的气体进行压缩,通过测量压缩后的压力来计算原始真空度。
热导式真空计:基于气体热传导原理,包括电阻式真空计和热电偶式真空计,通过测量气体分子热传导导致的温度或电阻变化来间接测量压力。
电离式真空计:基于电离作用原理,分为热阴极式真空计和冷阴极式真空计,通过测量气体分子电离产生的离子流来确定真空度。
绝对真空计:能从其本身测得的物理量,如液柱高度、工作液比重等,直接计算出气体压力,测量精度较高,主要用作基准量具,如 U 形管真空计、压缩式真空计等。
相对真空计:主要利用气体在低压力下的某些物理特性,如热传导、电离、粘滞性和应变等与压力的关系间接测量,测量精度较低,且测量结果与被测气体种类和成分有关,使用前需用绝对真空计标定和校准,实际应用中占绝大多数,如电阻真空计、冷热阴极电离真空计等。
按刻度方法分类
按测量原理分类