漏液传感器的使用

液体泄漏传感器安装在使用化学溶液和纯水等液体的生产设备和机器的管道和管道接头周围，液体储罐和液体泵中发生的冷凝，冷却管道，通风室等。这样可以及早发现液体泄漏。

1、半导体制造设备中的凝露、液体泄漏检测

设备周围安装有液体泄漏传感器，用于检测清洁设备内部的冷凝以及向周围区域的液体泄漏。

2、化学品储罐管接头泄漏检测

通过将液体泄漏传感器缠绕在液体可能泄漏的区域（例如管道接头）来检测液体泄漏。

3、CMP设备计量槽液体泄漏检测

液体泄漏传感器可检测液体泄漏到 CMP 设备的排水盘中，从而抛光和平整晶圆表面，防止设备损坏和晶圆清洁失败。

4、防爆区域漏油检测

泄漏传感器检测生产设备和防爆区域设备使用的液压缸等液压驱动设备的漏油情况。

5、大型公寓、办公楼漏水检测

利用漏水传感器可以远程检测大型建筑的供水设备、供水管道、废水管道的漏水情况，并及时采取措施。