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关于步进机使用的UV照射设备

更新时间:2024-09-23      浏览次数:97

步进曝光机是一种使用步进重复方法进行曝光的投影曝光设备。将曝光区域分成几个小部分并一次性曝光这些区域。曝光完成后,移动到下一个区域并进行另一次曝光。这称为步进重复方法,因为该区域被移动(步进)并重复曝光(重复)。

UV照射设备一般采用超高压汞灯作为光源。当在晶片或玻璃基板上形成电路时,通过用紫外线照射图案化的光掩模,将图案转移到涂有抗蚀剂的基材上。
曝光所需的光线要求均匀度高、角度控制精确、输出高。为了满足这个要求,我们使用短弧灯,它是几千瓦到几十千瓦的光源,并通过许多光学元件将椭圆镜聚焦的强紫外光照射到光掩模上。


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