什么是真空计？

什么是真空计？

真空计是测量一定空间内真空度的传感器。

根据用途，选择分压真空计或全压真空计。此外，测量方法有多种，可测量的真空范围根据这些差异而变化。

真空计的应用实例

真空空间通常用于需要高清洁度的制造场所，因为可以zui大程度地减少包括水分在内的杂质。其中，真空计安装在与需要真空达到控制的室和石英管连接的流体回路中。

真空计通常安装在半导体制造设备的等离子蚀刻空间以及冶金、有机合成等实验设备中。它还用于需要表面清洁度的场合，例如离子束设备、气相沉积设备以及其他需要表面清洁度的应用。

真空计原理

真空计的类型和测量原理有很多种。真空计成功测量少量气体分子的动量，并将其转换为气体密度和空间真空度。zui流行的真空计类型是皮拉尼真空计。

皮拉尼真空计是一种电阻式真空计，可根据气体与携带电流的铂丝碰撞时损失的热能计算出电流，然后根据该值计算出压力。其机制是，这一微小压力直接对应于真空度。